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耀群科技專業於(1)無塵室中及mini-environment中微污染之監控包括particle, ESD, Ionizer, AMC及TRH, AV, DP, 微粒子計數器…等,(2)相關量測儀器銷售, 租借及校正服務如particle counter, Ion Counter。(3)提供符合NEBB認證原則之無塵室品質驗收認證服務。(4)純水系統監測整合。(5)CMP motor overhaul的服務。 ASYS Corp. is providing the Facility Monitoring System for cleanroom and mini-environment, include: particle...detail
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